| *商品について |
|
表紙はついていません（本文のみ中綴じ製本です）。
号単位でも購入できます。
すべてモノクロ印刷です。
Extended Summaryはついていません。
|
 |
| ・会員価格 ¥550 |
| ・一般価格 ¥770 |
|
|
| こちらはBookPark「電気学会 電子図書館（IEEJ Electronic Library）」による文献紹介ページです。 |
|
 |
 |
電気学会会員の方はこちらから一旦ログインのうえ、マイページからお入りください。
会員価格で購入することができます。
|
|
| 非会員の方はログインの必要はありません。このまま お進みください。 |
|
|
| ■論文No. |
|
| ■ページ数 |
6ページ |
■発行日
|
2022/04/01 |
| ■タイトル |
ガラスの広域パラメータ可変超短パルスレーザー加工 |
| ■タイトル(英語) |
Wide-range Parameter Variable Ultrashort Pulse Laser Processing of Glass Materials |
| ■著者名 |
奈良崎 愛子（国立研究開発法人産業技術総合研究所），吉富 大（国立研究開発法人産業技術総合研究所），高田 英行（国立研究開発法人産業技術総合研究所） |
| ■著者名(英語) |
Aiko Narazaki (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)), Dai Yoshitomi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)), Hideyuki Takada (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)) |
| ■価格 |
会員 ¥550 一般 ¥770 |
| ■書籍種類 |
論文誌(論文単位) |
| ■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 |
| ■本誌 |
電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.142 No.4 （2022） 特集：持続可能な社会発展に貢献するスマートレーザプロセシング
|
| ■本誌掲載ページ |
460-465ページ |
| ■原稿種別 |
論文／日本語 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/142/4/142_460/_article/-char/ja/
|
| ■キーワード |
広域パラメータ可変，超短パルスレーザー加工，ガラス wide-range parameter variable，ultrashort pulse laser processing，glass materials |
| ■要約(日本語) |
|
| ■要約(英語) |
Laser processing has great potential for precision microfabrication of various materials including hard-to-machine materials, and has a high affinity for digital transformation. The productivity and quality of laser micromachining depend on multiple laser parameters. For those optimizations, the quick survey of laser parameters in wide range is vital. Recently, we have developed Yb-doped fiber chirped-pulse amplification system that can control various laser parameters in a wide range (pulse duration: 0.4 to 400 ps, repetition: single shot to 1 MHz, etc.). In this work, using this laser system, percussion micro-drilling of glass materials, such as silica glass and alkali-free boro-aluminosilicate glass, was investigated with pulse duration and fluence as wide-range variables. The repetition rate and number of shots were fixed at 1 MHz and 100. The ablation was observable when the pulse duration was below 30 ps and 50 ps for silica glass and alkali-free boro-aluminosilicate glass, respectively. From the ablation volume dependence on laser fluence, the ablation threshold of silica glass was much higher than that of alkali-free boro-aluminosilicate glass. The fast and comprehensive survey of ultrafast laser ablation of glass materials was demonstrated. |
| ■版 型 |
A4 |
|
|
|
