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| ・会員価格 ¥550 |
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| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
8ページ |
■発行日
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2022/04/01 |
| ■タイトル |
機械学習にもとづく補償光学を用いたフェムト秒レーザー加工 |
| ■タイトル(英語) |
Femtosecond Laser Processing with Adaptive Optics based on Machine Learning |
| ■著者名 |
長谷川 智士（宇都宮大学オプティクス教育研究センター），早崎 芳夫（宇都宮大学オプティクス教育研究センター） |
| ■著者名(英語) |
Satoshi Hasegawa (Center for Optical Research and Education (CORE), Utsunomiya University), Yoshio Hayasaki (Center for Optical Research and Education (CORE), Utsunomiya University) |
| ■価格 |
会員 ¥550 一般 ¥770 |
| ■書籍種類 |
論文誌(論文単位) |
| ■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 |
| ■本誌 |
電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.142 No.4 （2022） 特集：持続可能な社会発展に貢献するスマートレーザプロセシング
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| ■本誌掲載ページ |
470-477ページ |
| ■原稿種別 |
論文／日本語 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/142/4/142_470/_article/-char/ja/
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| ■キーワード |
フェムト秒レーザー加工，補償光学，機械学習，ニューラルネットワーク，計算機ホログラム femtosecond laser processing，adaptive optics，machine learning，neural network，computer-generated hologram |
| ■要約(日本語) |
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| ■要約(英語) |
Adaptive optics for compensating wavefront aberrations is important because the aberrations cause focal spot distortion leading to loss of resolution in laser processing. In this paper, femtosecond laser processing with adaptive optics based on machine learning was demonstrated. The aberrations existing in the laser processing system were continuously predicted by the trained neural network with an update period of 36 ms and were compensated by a liquid crystal spatial light modulator. In the experiment, the machine learning-based adaptive optics reduced the wavefront error in the laser processing system to most one-ninth. Furthermore, parallel laser processing by a computer-generated hologram displayed on the spatial light modulator was also demonstrated while dynamically compensating the aberrations in the system. |
| ■版 型 |
A4 |
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