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■論文No.
■ページ数 4ページ
■発行日
2024/11/01
■タイトル

ZnO/Sr3Al2O6多層薄膜溶解を用いた六方晶系材料の転写プロセス開拓

■タイトル(英語)

Transfer Processes of Hexagonal Crystal systems Utilizing Dissolution of ZnO/Sr3Al2O6 Multilayer

■著者名 小田 裕也(近畿大学大学院生物理工学研究科),西川 博昭(近畿大学生物理工学部)
■著者名(英語) Yuya Oda (Graduate School of Biology-Oriented Science and Technology, Kindai University), Hiroaki Nishikawa (Faculty of Biology-Oriented Science and Technology, Kindai University)
■価格 会員 ¥550 一般 ¥770
■書籍種類 論文誌(論文単位)
■グループ名 【C】電子・情報・システム部門
■本誌 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.144 No.11 (2024) 特集T:電気関係学会関西連合大会 特集U:電子材料関連技術の最近の進展
■本誌掲載ページ 1082-1085ページ
■原稿種別 論文/日本語
■電子版へのリンク https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/144/11/144_1082/_article/-char/ja/
■キーワード 六方晶系材料,転写プロセス,フレキシブル薄膜,ZnO,Sr3Al2O6  hexagonal crystal system,transfer process,flexible thin film,ZnO,Sr3Al2O6
■要約(日本語)
■要約(英語) We have investigated a transfer process for fabricating flexible thin films of hexagonal crystal systems. In this report, we proposed a transfer process utilizing the dissolution of ZnO and Sr3Al2O6 (SAO) multilayer, such as hydroxyapatite, on a flexible polymeric sheet. The diffraction peaks of both ZnO and SAO were clearly observed in the fabricated samples, while only the ZnO diffraction peaks were detected in the samples lifted-off from the original substrate. Furthermore, immersing the samples in a mixture of 60 vol.% methanol and 40 vol.% acetylacetone, which dissolves ZnO, resulted in the disappearance of ZnO diffraction peaks. This result indicates that the proposed process of dissolving ZnO/SAO multilayers is practical for the transfer of hexagonal crystal systems.
■版 型 A4
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