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・会員価格 ¥550 |
・一般価格 ¥770 |
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■論文No. |
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■ページ数 |
4ページ |
■発行日
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2024/11/01 |
■タイトル |
ZnO/Sr3Al2O6多層薄膜溶解を用いた六方晶系材料の転写プロセス開拓 |
■タイトル(英語) |
Transfer Processes of Hexagonal Crystal systems Utilizing Dissolution of ZnO/Sr3Al2O6 Multilayer |
■著者名 |
小田 裕也(近畿大学大学院生物理工学研究科),西川 博昭(近畿大学生物理工学部) |
■著者名(英語) |
Yuya Oda (Graduate School of Biology-Oriented Science and Technology, Kindai University), Hiroaki Nishikawa (Faculty of Biology-Oriented Science and Technology, Kindai University) |
■価格 |
会員 ¥550 一般 ¥770 |
■書籍種類 |
論文誌(論文単位) |
■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 |
■本誌 |
電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.144 No.11 (2024) 特集T:電気関係学会関西連合大会 特集U:電子材料関連技術の最近の進展
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■本誌掲載ページ |
1082-1085ページ |
■原稿種別 |
論文/日本語 |
■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/144/11/144_1082/_article/-char/ja/
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■キーワード |
六方晶系材料,転写プロセス,フレキシブル薄膜,ZnO,Sr3Al2O6 hexagonal crystal system,transfer process,flexible thin film,ZnO,Sr3Al2O6 |
■要約(日本語) |
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■要約(英語) |
We have investigated a transfer process for fabricating flexible thin films of hexagonal crystal systems. In this report, we proposed a transfer process utilizing the dissolution of ZnO and Sr3Al2O6 (SAO) multilayer, such as hydroxyapatite, on a flexible polymeric sheet. The diffraction peaks of both ZnO and SAO were clearly observed in the fabricated samples, while only the ZnO diffraction peaks were detected in the samples lifted-off from the original substrate. Furthermore, immersing the samples in a mixture of 60 vol.% methanol and 40 vol.% acetylacetone, which dissolves ZnO, resulted in the disappearance of ZnO diffraction peaks. This result indicates that the proposed process of dissolving ZnO/SAO multilayers is practical for the transfer of hexagonal crystal systems. |
■版 型 |
A4 |
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