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■論文No.
■ページ数 36ページ
■発行日
2020/08/01
■タイトル

電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.140 No.8 (2020)

■タイトル(英語)

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.140 No.8 (2020)

■著者名
■著者名(英語)
■価格 会員 ¥1,320 一般 ¥1,650
■書籍種類 論文誌(号単位)
■グループ名 【E】センサ・マイクロマシン部門
■電子版へのリンク https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/140/8/_contents/-char/ja/
■キーワード
■要約(日本語) ・RF Power Dependence on Structural and Electrical Properties of Cu Thin Films on a Glass Substrate Prepared Using Magnetron Sputtering with Multipolar Magnetic Plasma Confinement:Taro Katayama,Hiroshi Toyota
・Non-Mutative Cell Viability Measurement on an IGZO Transparent Thin Film Transistor Electrode Array:Grant A. Cathcart,Agnes Tixier-Mita,Satoshi Ihida,Anne-Claire Eiler,Hiroshi Toshiyoshi
・パートナーロボットへの応用を目指した集積化力覚センサ素子によるモーメント検知:藤吉 基弘,畑 良幸,美馬 一博,平野 栄樹,室山 真徳,田中 秀治,中山 貴裕
・TiNを用いた梁構造マイクロヒータの作製と評価:伊藤 浩,川又 由雄,新國 広幸
・分岐光線路における損失変動検出方法に関する研究:松田 健太郎,遠藤 隆昭,長瀬 亮
■要約(英語)
■版 型 A4
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