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| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
43ページ |
■発行日
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2022/09/01 |
| ■タイトル |
電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.142 No.9 （2022） 特集：次世代社会基盤を支えるIoT，センシングシステムのための要素技術 |
| ■タイトル(英語) |
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.142 No.9 (2022) Special Issue on “The Technology of IoT and Sensing Systems for Next-generation Infrastructure” |
| ■著者名 |
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| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥1,320 一般 ¥1,650 |
| ■書籍種類 |
論文誌(号単位) |
| ■グループ名 |
【E】センサ・マイクロマシン部門 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/142/9/_contents/-char/ja/
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| ■キーワード |
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| ■要約(日本語) |
・「次世代社会基盤を支えるIoT，センシングシステムのための要素技術」――特集号によせて――：肥後 昭男
・Double-Deck MEMS Electrostatic Vibrational Energy Harvester with Airborne Interconnection：Hiroaki Honma，Hiroshi Toshiyoshi
・Problems in Fabrication of Metal Pads for Capacitive MEMS Using Hands-on Open Facility：Linxin Zhang，Takashiro Tsukamoto，Shuji Tanaka
・Review of Magnetic Resonance Force Sensors Based on Nanomechanical Cantilever：Masaya Toda，Gaopeng Xue，Takahito Ono
・Edge Quality Control of an Optical Racetrack Resonator by Character Projection/Variable-shaped Beam Method to Optimize Pattern Approximation in F7000S-VD02：Akio Higo，Tomoki Sawamura，Makoto Fujiwara，Eric Lebrasseur，Ayako Mizushima，Etsuko Ota，Yukinori Ochiai，Taro Arakawa，Yoshio Mita
・マイクロ毛細管チャネルを用いた平滑表面を有するカラーフィルタパターン作製プロセス：渡邊 朋也，道垣内 公介，足立 悠輔，小林 大造
・Lorentz Force Frequency Modulated MEMS Magnetometer Using CW/CCW Mode Separator on Quad Mass Resonator：Linxin Zhang，Takashiro Tsukamoto，Shuji Tanaka
・ハーフインチ水晶ウエハ上へ成膜したAlN薄膜上への弾性表面波デバイスアレイの作製：永野 朝日，北村 奏人，野田 周一，村上 直，井口 航平，クンプアン ソマワン，原 史朗 |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
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