| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
9ページ |
■発行日
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2024/11/01 |
| ■タイトル |
ポリイミドを基板としたCr-N薄膜ひずみゲージ素子の作製と微圧センサ応用 |
| ■タイトル(英語) |
Fabrication and Low Range Pressure Sensor Application of Polyimide Based Cr-N Thin Film Strain Gauge Element |
| ■著者名 |
佐々木 祥弘（（公財）電磁材料研究所），丹羽 英二（（公財）電磁材料研究所） |
| ■著者名(英語) |
Yoshihiro Sasaki (Research Institute for Electromagnetic Materials), Eiji Niwa (Research Institute for Electromagnetic Materials) |
| ■価格 |
会員 ¥550 一般 ¥770 |
| ■書籍種類 |
論文誌(論文単位) |
| ■グループ名 |
【E】センサ・マイクロマシン部門 |
| ■本誌 |
電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.144 No.11 （2024） 特集：化学物質の高次センシングと解析技術
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| ■本誌掲載ページ |
375-383ページ |
| ■原稿種別 |
論文／日本語 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/144/11/144_375/_article/-char/ja/
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| ■キーワード |
Cr-N，感歪薄膜，ひずみゲージ，圧力センサ，ポリイミド Cr-N，strain sensitive thin film，strain gauge，pressure sensor，polyimide |
| ■要約(日本語) |
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| ■要約(英語) |
We have developed a Cr-N alloy thin film showing a gauge factor (Gf) of about 10 and a temperature coefficient of resistivity (TCR) of about zero, which is expected as a new strain gauge material in the next generation. In this study, we have investigated the fabrication of polyimide-based Cr-N thin films and the pressure sensor application for very low pressure range using the films. We have found out that the usable crack free Cr-N thin films were obtained on polyimide bases due to using the lower spattering gas pressure, and also enabled to detect the very low range pressure of 1-30kPa sensitively. |
| ■版 型 |
Ａ４ |
