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| ■論文No. |
1-107 |
| ■ページ数 |
1ページ |
■発行日
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2000/03/21 |
| ■タイトル |
レーザアブレーションカーボンプルームの電流波形 |
| ■タイトル(英語) |
Current Waveform of Carbon Plume by Pulsed Laser Ablation |
| ■著者名 |
須田 善行(北海道大学),西村 卓真(北海道大学),水野 学(北海道大学),小野 智之(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学) |
| ■著者名(英語) |
Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Takuma Nishimura(Hokkaido University),manabu Mizuno(Hokkaido University),Tomoyuki Ono(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
全国大会 |
| ■グループ名 |
【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集 |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
レーザアブレーション|グラファイトターゲット|電流波形|バイアス電圧 |
| ■要約(日本語) |
レーザアブレーションによりターゲット表面から爆発的に発生するプルームは原子・電子・正イオン・クラスターなど電荷や質量の異なったものから構成され、その輸送現象は複雑である。筆者らの研究室ではArFエキシマレーザを用いて、希ガス雰囲気でのレーザアブレーションによる炭素薄膜ならびに微粒子堆積を行っており、雰囲気ガス圧ならびにレーザエネルギーにより発生プルームおよび堆積膜質が変化することを確認している。本報告ではイオン・電子などの荷電粒子による電流波形よりプルームの特性を考察する。電極間にバイアス電圧を印加したと |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
54Kバイト |
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