3.電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作 |
A Fabrication of Spiral Microcoil for a Sorenoidal Electromagnetic Microactuator |
論文No: 3-O3-3 ページ数: 4 日付: 2006/08/21
著者: 服部 正(兵庫県立大学),野田 大二(兵庫県立大学),嶋田 修(進工業),佐藤 憲昭(樹研工業),清水 正巳(ジュケンファインツール),山下 満(兵庫県立工業技術センター),銘苅春隆 (産業技術総合研究所)
キーワード : マイクロアクチュエータ|電磁型アクチュエータ|LIGAプロセス| Microactuator| Electromagnetic actuator| LIGA process |
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サイズ:A4 掲載ページ: III121-124 |
会員価格(税込)¥220 |
一般価格(税込)¥440 |
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